真空等離子清洗機(jī)是一種利用等離子體技術(shù)進(jìn)行表面清洗和改性的設(shè)備。其主要原理是在真空環(huán)境下，通過電離氣體產(chǎn)生等離子體，利用等離子體在表面產(chǎn)生的化學(xué)反應(yīng)和物理效應(yīng)，去除表面污染物和氧化層，從而改善表面性能。
 

　　真空等離子清洗機(jī)的工作原理如下：
 

　　1.將待清洗的物體放入真空室內(nèi)，排除空氣，建立真空環(huán)境。真空環(huán)境可以有效地避免氧化和污染物的再污染。
 

　　2.在真空室內(nèi)加入氣體，如氧氣、氮?dú)獾?，然后通過高頻電場(chǎng)、微波等方式將氣體離子化，產(chǎn)生等離子體。
 

　　3.等離子體在表面產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)和物理效應(yīng)，去除表面污染物和氧化層。其中，化學(xué)反應(yīng)主要是通過等離子體中的活性離子與表面污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，將其分解或轉(zhuǎn)化成易揮發(fā)的氣體，從而達(dá)到清洗的目的；物理效應(yīng)主要是通過等離子體中的電子、離子、自由基等物理效應(yīng)，將表面污染物和氧化層剝離，從而達(dá)到清洗的目的。
 

　　4.清洗結(jié)束后，將氣體排出真空室，然后將真空室充氣，將清洗完成的物體取出。
 

　　真空等離子清洗機(jī)有以下幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)：
 

　　1.利用等離子體技術(shù)，可以對(duì)表面進(jìn)行清洗和改性，清洗效果非常好。
 

　　2.可以清洗各種材料的表面，包括金屬、塑料、陶瓷等，清洗質(zhì)量非常高，可以去除表面的油污、氧化物、污漬等。
 

　　3.可以在短時(shí)間內(nèi)完成清洗，清洗速度非?？?。
 

　　4.清洗過程中不需要使用化學(xué)品，對(duì)環(huán)境沒有污染，同時(shí)也節(jié)約了能源。
 

　　5.可以廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、航空航天、醫(yī)療器械等領(lǐng)域，是一種非常重要的清洗設(shè)備。